반도체 업계의 ‘슈퍼 을(乙)’로 불리는 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 최첨단 반도체 양산에 필요한 ‘하이 뉴메리컬어퍼처(High NA)' 극자외선(EUV) 노광장비 첫 제품을 미국 인텔에 공급했다.
미국 블룸버그통신은 22일(현지시간) 익명의 소식통을 인용해 ASML이 하이 NA EUV 장비를 미국 오리건주에 위치한 인텔 ‘D1X’ 공장으로 출하했다고 보도했다. ASML도 엑스(X·옛 트위터)에 “우리의 첫 번째 하이 NA EUV를 배송할 수 있어서 기쁘다”는 글을 올렸다.
EUV 장비는 최첨단 반도체를 생산하기 위한 필수 장비다. 그러나 생산 기업이 ASML밖에 없고 한 해 생산 대수가 40~50대 수준에 그치는 탓에, 삼성전자와 대만 TSMC 등 반도체 파운드리 분야 기업들은 제품 구매를 위해 각축전을 벌이고 있다. 특히 기존 EUV 장비의 차세대 제품인 하이 NA EUV 장비는 2나노미터(nm·1nm은 10억 분의 1m) 미만 초미세 반도체 제조를 위해 반드시 필요하다.
ASML이 첫 제품 구매처로 인텔을 낙점하면서 삼성전자는 일러야 2025년쯤이나 하이 NA EUV 장비를 납품받을 것으로 전망된다. 인텔은 이 장비를 확보해 2024년 2나노, 2025년에는 1.8나노급 반도체를 선보이겠다는 계획이다.
앞서 윤석열 대통령은 지난 15일 네덜란드 국빈방문을 계기로 ASML 본사를 찾고 양국 정부 간 반도체 협력 강화 방안을 논의했다. 삼성전자와 ASML은 내년부터 약 1조 원을 투입해 한국 수도권에 하이 NA EUV 장비 관련 공동 연구를 수행하는 센터를 세우고 공동 운영하는 양해각서(MOU)를 맺었다.